| Клапан высоковакуумный, угл., сильфонный, пн/упр, Н.З., алюм., FKM, KF16, с возм. опроса положений |
| Вакуумный расход | 7 нл/мин |
| Давление: рабочий диапазон | 1x10-6 Pa |
| Присоединение | Фланец, тип KF |
| Натекание: внешнее Pa*m3/sec | 10 -11 Pa*m3/sec |
| Натекание: внутреннее Pa*m3/sec | 10 -9 Pa*m3/sec |
| Материал корпуса | Алюминий (сплав) |
| Материал уплотнения/диафрагмы | FKM |
| Температура | +5 - +60 С` |
| Напряжение питания | 24 VDC |
| Тип | Угловой |