| Вакуум: минимальный относительный | 10 -3 Па |
| Давление: рабочий диапазон | 1.0 МПа |
| Давление: макс. рабочее | 1,0 МПа |
| Натекание: внешнее Pa*m3/sec | 10 -6 Pa*m3/sec |
| Натекание: внутреннее Pa*m3/sec | 10 -6 Pa*m3/sec |
| Исполнение | oil-free |
| Проходное сечение (мм) | 3,2 |
| Среда | Воздух, инертные газы |
| Температура | 0 - +50 C' |
| Напряжение питания | 24 VDC |